尼康的牛逼之处,就是人家是产业链集合,所有的零件都能自己搞定。
但是,在进入九十年代,光刻机的生产商碰到了一个技术关卡:光刻机使用的光源是193纳米的,它就限制了光刻机的继续升级!
想要凋刻东西越精细,刀子就得越锋利,193纳米的激光已经不够细了,接下来该怎么办呢?
本站域名已经更换为www.adouyinxs.com 。请牢记。尼康作为科技巨头,想的办法也很简单,直接换用157纳米的2激光,这样就能解决问题了。
而为了对抗尼康成立的euv llc联盟则押注更激进的极紫外技术,将光源切换成十几纳米的极紫外光,这样不仅仅能解决现有的问题,还能一直用到以后,刻十纳米以下的芯片制程都没问题。
但是,这两种技术都不容易,都面临着技术难关,这就是九十年代最出名的193纳米关卡!
凡是遇到难关的时候,总是有天才出现的,现在也不例外,一个名叫林本坚的鬼才工程师出现了。
当光线透过水之后,频率不变,但是波长会发生变化,这就是水的折射率,所以,只要在光刻机的光源和硅片之间加一层水,让原本的193纳米的激光发生一次折射,不就能大大地降低了吗?
简单计算就能知道,波长会降低到132纳米!
这样,不仅仅能降低了光刻机的波长,刻蚀更加精密的电路,而且,对机器的改动还最小!
以前的就叫做干刻法,现在可以叫做湿刻法了!
林本坚提出来了这项技术,兴致勃勃地跑出去推销,但是,全部都吃了闭门羹!
美国、德国、日本,一个个的光刻机巨头,面对着这个说法都是嗤之以鼻:在精密的机器中加入水,成为一个浸润环境,就不怕水漏了吗?短期来看,这个办法可能会成功,但是长期来看,根本就是在走弯路!
尤其是巨头尼康,决定在157纳米的光源上研究,根本就不搭理林本坚这种歪门邪道。
就像是数码相机一样,当年柯达首先研制出来数码相机,但是害怕因此威胁到胶片的生意,所以他们采用的办法就是将数码相机藏起来,不让别人知道!
尼康在157纳米的道路上走到黑,而此时名不经传的阿斯麦却注意到了这个弯道超车的机会,对他们来说,这是一个迅速追赶世界先进水平的机会!
所以,他们接受了林本坚的技术,研发起来了浸润式光刻机,不过,这已经是03年的事情了,仅仅一年的时间,也就是04年,他们就制造出来了样机,然后迅速拿下了ibm和台积电等等大客户的订单。
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